Насос с вакуумным усилителем

Насос с сухой заправкой с вакуумной системой (также называемый сухим механическим насосом) относится к насосу, который может начать перекачивать при атмосферном давлении и может перекачиваться непосредственно в атмосферу в камеру насоса без масла или других рабочих сред, а насос вакуумный насос с масляным уплотнением, эквивалентный или близкий к механическому вакуумному насосу. Применение сухого вакуумного насоса обширно, в основном в следующих аспектах: 1) в процессе получения поликремния методом химического осаждения из паровой фазы при низком давлении; 2) Процесс травления полупроводников. В этих производственных процессах часто используются или образуются едкие газы и абразивные частицы; 3) В дополнение к некоторым процессам, которые производят частицы, отличные от полупроводниковых процессов, не ожидается, что частицы будут смешаны с маслом насоса, и есть надежда, что частицы будут выгружены из насоса, а затем будет создан определенный тип сухого механического вакуума. насос может соответствовать требованиям; 4) В химической, фармацевтической, пищевой промышленности при дистилляции, сушке, пеногаслении, упаковке и т. д. для предотвращения загрязнения, вызванного органическими растворителями, подходит для сухого вакуумного насоса; 5) Используется в качестве переднего насоса общей безмасляной чистой вакуумной системы для предотвращения загрязнения маслом.